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| 技術(shù)指標 ◆調(diào)整維數(shù):X,Y,Z,θz 四維 ◆調(diào)整行程:罷蟲,罷測:25塵塵, Tz:5mm ◆調(diào)整角度:θz :360° 組合用產(chǎn)物: TSM25-1A平移臺 一個 RSM82-1A旋轉(zhuǎn)臺 一個 TSMV5-1A升降臺 一個 |
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